适用工艺：CF、Array、TP 等

适用基板尺寸：All Size

适用基板厚度：≥0.3mm

刻蚀类型：Oscilation Type Shower 

设备类型：I Type，U Type，Line Type，Custom Made

工艺能力：

1.High Uniformity Ultra-low Pressure Spray；

2.Excellent Process Reliability，High CD Uniformity；

3.Defoaming Management；

4.No Mist, No Roller Mark, No Contamination And No Scratch；

5.Low Running Cost。